扩散硅压力传感器的量程指的是传感器能够准确测量的压力范围。量程是选择和使用扩散硅压力传感器的一个非常重要的参数，因为它直接决定了传感器能否适用于特定的应用场景。以下是对它量程的详细解析：
一、量程范围概述
低量程段：硅芯片的这种力敏电阻的压阻效应在零点附近的低量程段无死区，制作压力传感器的量程可小到几个Kpa。
高量程段：部分高性能的扩散硅压力传感器，其量程可达上百MPa，如WPAK63扩散硅压力传感器的量程范围包括-100kPa～0～10kPa至100MPa。
二、具体量程示例
特定型号量程：特殊结构尺寸的充油传感器芯体，其量程可包括20kpa、35kpa、50kpa、70kpa等多种选择。
应用场景定制：在实际应用中，如真空室负压变化监测，可能会选择量程为-0.1~0.15MPa的扩散硅压力传感器，以确保器件使用安全并满足测量精度要求。
三、量程选择与注意事项
超量程或降量程选用：在选用时，如果需要进行超量程或降量程操作，幅度应控制在±30%FS（满量程）以内，以确保传感器的测量准确性和稳定性。
介质兼容性：在选择扩散硅压力传感器时，还需要考虑其介质兼容性。不同的传感器可能对液体、气体或蒸汽的兼容性有所不同，因此需要根据具体的应用场景来选择合适的传感器。
四、量程与性能参数的关系
灵敏度：扩散硅应变电阻的灵敏因子比金属应变计高50～100倍，因此相应的传感器灵敏度也很高。一般来说，量程输出为100mv左右，这使得传感器对接口电路无特殊要求，使用比较方便。
温度影响：扩散硅压力传感器的温度稳定性也较好，一般在-40℃～ 85℃范围内工作时，其性能变化较小。此外，部分传感器还提供了温度补偿功能，以进一步提高测量精度。
综上所述，扩散硅压力传感器的量程范围广泛且可根据需求进行定制。在选择时，需要综合考虑应用场景、测量精度、介质兼容性以及温度稳定性等因素。