MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）压力传感器是一种微型化的传感器技术，它利用微机械加工和集成电路技术将机械结构与电子信号处理集成在一块硅晶片上。这种技术使得压力传感器尺寸减小，同时提高了精度、可靠性和响应速度。MEMS压力传感器的量程，即它们能够准确测量的压力范围，是非常广泛的，可以从非常低的压力到极高的压力。

以下是几种MEMS压力传感器的量程示例：

1、绝压传感器：

NSP1630 MEMS绝压传感器：量程0kPa~200kPa。

NSP1631 MEMS绝压传感器：量程0kPa~500kPa。

2、表压传感器：

AGR10 表压型MEMS压力传感器：量程5~350 kPa。

3、其他类型：

某些设计用于医疗设备的MEMS压力传感器：量程可达40 kPa。

适用于汽车中的MEMS压力传感器：在5~500kPa量程范围内应用广泛。

特定应用的MEMS压力传感器：量程可以达到6MPa（6000kPa）。

MEMS压力传感器因其微型化、高精度和广泛的量程而被广泛应用于多个领域，包括但不限于医疗、汽车、航空航天和工业自动化。它们的量程从低至几千帕斯卡（kPa）到高达兆帕斯卡（MPa）不等，能够满足从精密医疗设备到极端工业环境的各种应用需求。‍