MEMS(微机电系统)压力传感器的封装形式多样,旨在保护传感器芯片免受环境影响,同时确保精确测量。以下是几种常见的MEMS压力传感器封装形式:

1.侧密封封装:通过在传感器侧面放置橡胶O型圈实现密封,确保传感器芯体在封装壳体内有微小的径向和轴向运动空间,减少机械应力,适用于全量程的隔离膜压力传感器。
2.焊接式封装:利用亚弧焊机、激光焊机或电子束焊机等设备进行焊接封装,适用于隔离膜压力传感器,能增加传感器的介质兼容性并减少泄露风险,但对焊接材料质量有较高要求。
3.SMD(Surface Mount Device)封装:适用于表面贴装技术,如SOP、QFN等,适合小尺寸、高频率和高温环境,易于集成到电路板上。
4.TO(Transistor Outline)封装:金属封装,常见为圆柱形,如TO-8管座,适用于较大的传感器,如温度、压力、湿度测量,有的带有硅凝胶保护和金属导气帽。
5.塑封型封装:包括P型、A2型、N型、D4型等,采用塑料材料,具有高强度、防潮、防电磁干扰等特性,适用于汽车和工业应用。
6.插件封装(DIP):适用于插件式安装,如DIP和TO型,便于直接焊接或插入插座。
7.管式封装:适用于需要与管道相连的应用,如螺纹接口、法兰接口等,便于安装在流体系统中。
8.陶瓷封装基板:特别适用于MEMS压力传感器,提供更好的热稳定性、绝缘性能和机械强度,有利于提升传感器的精度和灵敏度。
上述几种MEMS压力传感器封装形式都有其特定的应用场景和优势,选择合适的封装形式需根据传感器的使用环境、精度要求、成本预算和安装便利性等多方面因素决定。